СЕКЦИЯ 5
ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ И ДИАГНОСТИКА РЕАГИРУЮЩЕЙ ПЛАЗМЫ
Устные доклады
16 мая, 14.30 – 18.00, конференц-зал
1. Axial and Radial Development of the Microdischarges of Barrier Discharges in N2/O2 Mixtures
K.V. Kozlov, H.-E. Wagner, R. Brandenburg, A.M. Morozov
2. Пространственно-временная структура микроразряда в аргоне при атмосферном давлении
К.В. Козлов, П.А. Татаренко, С.В. Чернов, В.Г. Самойлович
3. Диагностика неравновесной азотной плазмы по излучению второй положительной системы азота
Ю.А. Лебедев, В.А. Шахатов
4. Микроволновый факел как плазмохимический реактор
С.И. Грицинин, В.Ю. Князев, И.А. Коссый, Н.А. Попов
5. Измерение плотности электронно-пучковой плазмы в диапазоне ne~1011-1013 см-3 при помощи открытого СВЧ резонатора
М.Н. Васильев, С.Л. Лысенко
6. Диагностика и численное моделирование кинетики возбуждения водорода и азота в плазме тлеющего контрагированного и ВЧ-разрядов
В.А. Шахатов, О.А. Гордеев
7. Исследование и разработка импульсного светоэрозионного микроинжектора химически активной многокомпонентной плазмы
Ю.Ю. Протасов, В.В. Христофоров, Т.С. Щепанюк
8. Спектральная диагностика характеристик ВЧЕ разряда в метане: распределение атомов водорода по энергетическим уровням
С.В. Автаева, Т.М. Лапочкина, Д.К. Оторбаев
9. Спектральная диагностика характеристик ВЧЕ разряда в метане: молекулярный водород
С.В. Автаева, Т.М. Лапочкина, Д.К. Оторбаев
17 мая, 9.30 – 13.00, конференц-зал
10. спектроскопическая диагностика метано-водородной смеси в свч разряде
А.А. Кирпичников, А.Ю. Стариковский
11. Свойства отрицательной сильноточной короны в азоте как генератора неравновесной плазмы при атмосферном давлении
Ю.С. Акишев, Г.И. Апонин, М.Е. Грушин, В.Б. Каральник, Н.И. Трушкин
12. Диагностика аномального тлеющего разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях в процессе нанесения оптических покрытий
Н.Ф. Кашапов, Г.С. Лучкин
13. применение релаксационной методики для измерения коэффициента геторогенной гибели атомов в плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами
Д.В. Ситанов, В.И. Светцов, Ю.В. Кириллов
14. Параметры плазмы двухструйного дугового плазмотрона, применяемого для прямого атомно-эмиссионного спектрального анализа твердых геохимических образцов
С.Б. Заякина, И.М. Засыпкин, Г.Н. Аношин
15. Влияние неравновесных процессов в плазме на физические свойства электрической дуги
В.А. Жовтянский, В.Н. Патриюк
16. Исследование характера изменений в спектрах излучения разряда униполярного пробоя газа при изменении давления газовой среды
А.И. Герасимов, И.В. Герасимов, А.К. Сухов, Л.В. Якунина
17. Осаждение пленок методом испарения мишени из оксидов титана лазерным излучением в плазме ВЧ–разряда в кислороде: диагностика и численное моделирование
В.А. Шахатов
Стендовые доклады секции 5
16 мая, 18.00 – 19.00
1. Industrial ULK Film Etching in Ar/O2/c-C4F8 High Density Plasmas
A. Islyaikin, V. Krastev, I. Reid, G. Hughes, A. Ellingboe
2. Анализ параметров плазмохимического травления кремниевых микро-структур по данным in situ оптической эмиссионной актинометрии
К.В. Руденко
3. Генератор микроволновой плазмы CERA-R
В.В. Андреев, А.А. Балмашнов, А.Е. Ернылев, А.В. Калашников, А.М. Умнов
4. Оптимизация параметров генератора плазмы для модификации поверхности конструкционных материалов
Е.Г. Дидык, В.А. Жовтянский, В.Г. Назаренко, В.А. Хомич
5. Разряд с жидким неметаллическим катодом и его воздействие на загрязнения катодной жидкости нефтепродуктами
Ю.А. Баринов, В.Б. Каплан, С.М. Школьник
6. Исследование несамостоятельного разряда, инициируемого жидкостным микроплазмотроном
А.С. Галов, В.А. Гостев, А.А. Фомкин
7. Исследование воздушно-плазменного потока, создаваемого генератором холодной плазмы
В.А. Гостев, А.А. Тихомиров
8. Управление параметрами и свойствами объемного отрицательного заряда в разряде униполярного пробоя газа (УПГ)
А.И. Герасимов, И.В. Герасимов, А.К. Сухов
9. Генератор долгоживущих плазменных образований
В.Н. Кунин, В.С. Плешивцев, Л.В. Фуров
10. Комплексный метод определения параметров высокочастотного индукционного разряда
Р.Н. Гайнуллин, А.П. Кирпичников