Школа по плазмохимии для молодых ученых России и стран СНГ


[ О Школе|Лекции|Секция 1|Секция 2|Секция 3|Секция 4|Секция 5|Cодержание |


МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДВИЖЕНИЯ ПОЛОЖИТЕЛЬНЫХ ИОНОВ В ДВОЙНОМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ СЛОЕ ЗОНДА

Е.В. Соколов

sokolov@icti.ivanovo.su

Ивановский государственный университет

 

В данной работе выведено аналитическое выражение для функции распределения ионов, попадающих на коллектор двухэлектродного зонда, учитывающее изменение углового распределение ионов в исходном потоке в области задерживающего потенциала и наличие столкновений в слое объемного заряда.

Рис. 1

Расчетная формула выводилась при следующих основных допущениях:

  1. Рассматриваемая установка представляет собой цилиндрический зонд радиуса R и высоты h с отверстием в центре верхнего основания (здесь и далее термины “верхний” и “нижний” используются в соответствии с рисунком 1, реальное расположение всей системы в пространстве роли не играет). Отверстие считается точечным. Перед ним находятся области ускоряющего (2) и задерживающего (1) потенциала (так, как показано на рисунке 4), геометрически представляющие собой слои толщиной s1 и s2, соответственно. Внутри зонда также существует задерживающее поле (область 3). Во всех трех полях потенциал одинаков в любой плоскости, параллельной основанию цилиндра. Известны функции изменения потенциала U1(r), U2(r), U3(r), где r расстояние от верхней границы соответствующей области, все они строго монотонны, а U3(r) является также линейной.
  2. Поток ионов проникает в систему через верхнюю границу области задерживающего потенциала, последовательно проходит области (1) и (2) и через диафрагму может попасть в область задерживающего потенциала. Вне зонда между ионами возможны упругие столкновения; предполагается, что каждое следующее столкновение происходит ближе к зонду (в том смысле, что расстояние от точки последующего столкновения до плоскости верхнего основания цилиндра строго меньше расстояния от точки предыдущего столкновения до этой плоскости). Известны функции распределения длины свободного пробега иона L 1(l ) и L 2(l ), 0 <  l  <   (l  >  si, i=1,2 означает отсутствие столкновений) и функции распределения по углам после столкновения F i(r, j ), 0   r   si, i=1, 2, 0 <  j  <  p (все углы отсчитываются от оси системы, положительным считается направление к зонду, F 1(0, j ) – распределение по углам в исходном потоке), максимальное число столкновений n1 и n2.

Для потока ионов, имеющих скорость V0 при проникновении в систему, и для каждого значения задерживающего потенциала U3=U3(h)-U3(0) требуется определить функцию F (V0, U3) – долю ионов, попавших на коллектор.

В силу упругости столкновений и предположения о том, что движение ионов происходит без испускания энергии, скорость иона в любой точке зависит лишь от начальной скорости V0 и расстояния до верхней границы области 1. Будем считать, что e.(U1(s1)–U1(0)) и e.(U1(s1)–U1(0)) + e.(U2(s2)–U2(0)) + e.Uзад (это условие является необходимым для попадания на коллектор).

Пусть плоскости s 1 и s 2 лежат в области i (i=1, 2) и пусть расстояния от этих плоскостей до верхней границы области i равны r1 и r2, соответственно, причем r2 > r1. Предположим, что столкновения происходят только в плоскости s 1. Определим вероятность того, что ион, испытавший столкновение в плоскости s 1, достигнет плоскости s 2.

Для области 1.

В силу монотонности функции U1(r) и отсутствия столкновений выше плоскости s 2, после столкновения для иона имеется две возможности: либо пересечь верхнюю границу и навсегда покинуть систему, либо достичь плоскости s 2. Очевидно к первой группе относятся все ионы, для которых <  | j |    p (j – угол после столкновения). Среди остальных достичь плоскости s 2 могут лишь те, вертикальная составляющая кинетической энергии которых удовлетворяет условию:

cos2j = (– e(U1(r1)–U1(0))) cos2j e (U1(r2)–U1(r1)),

откуда | j |    arccos=j 1(V0, r1, r2) (вследствие ограничения на V0 подкоренное выражение всегда неотрицательно и меньше единицы).

Для области 2.

Если ион пересечет верхнюю границу области 2, он будет дополнительно ускорен полем в области 1 и потому также покинет систему; поэтому для области 2 существуют те же две возможности. В данном случае плоскости s 2 достигнут все ионы с | j |   , а также те, для которых:

cos2j = (– e(U1(s1)–U1(0))–e(U2(r1)–U2(0))) cos2j e (U2(0)–U2(r1)) и

<  | j |  p ,

откуда | j |    p –arccos=j 2(V0, r1, r2) (выражение определено по тем же причинам, что и в первом случае).

Таким образом, искомая вероятность определяется следующим образом:

, i=1, 2.

Пусть Gi(V0, k, l 1, ... , l k), k=1,2,..., l j>0, l 1+... +l k   si – вероятность того, что ион, испытав в точности k-1 столкновений, достиг плоскости r , находящейся на расстоянии r = l 1+... +l k от верхней границы области i (i=1, 2), причем длины свободного пробега равны, соответственно, l 1, ... , l k. Из предыдущей формулы следует, что:

Gi(V0, k, l 1, ... , l k) =... .

Пусть плоскость r лежит в области i (i=1, 2) на расстоянии r от верхней границы, и пусть столкновения происходят лишь в плоскости r . Определим функцию Hi(r, y ), 0   y  < , – распределение по углам на нижней границы области r .

Для области 1.

Очевидно, должно выполняться следующее условие:

(– e (U1(r)–U1(0))) cos2j –e (U1(s1)–U1(r)) = (– e (U1(s1)–U1(0))) cos2y ,

где j – угол после столкновения,

откуда j = arccosy 1(V0, r, y ) (при сделанных предположениях выражение определено).

Очевидно H1(V0, r, y ) =F 1(r, y 1(V0, r, y )).

Для области 2.

Аналогично:

(– e (U1(s1)–U1(0)) – e (U2(r)–U2(0))) cos2j – e (U2(s2)–U2(r)) =

= (– e (U1(s1)–U1(0)) – e (U2(s2)–U2(0))) cos2y .

Так как при r < s2 правая часть уравнения положительна, решения существуют лишь при условии, что

| y | arccos=(V0):

j' = arccos=(V0, r, y ),

j''= p –arccos=(V0, r, y ).

Тогда: H2(V0, r, y ) =.

Легко видеть, что функция распределения по углам на нижней границе области i (i=1, 2) ионов, испытавших в точности k столкновений, k=0, 1, 2,... , имеет следующий вид:

Fi(V0, k, y ) =... L i(l 1)... L i(l k+1)Fi(V0, k, l 1...l k)Hi(V0l 1+... +l ky )dl 1...dl k+1.

Таким образом, функция Y 1(V0y ) =, 0  y  < , представляет собой функцию распределения по углам на нижней границе области 1. Полагая F 2(0, j ) = Y 1(V0y ), получим функцию Y 2(V0y ) = – функцию распределения по углам на нижней границе области 2.

Несложные вычисления позволяют определить функцию q (V0, U3) – максимальный угол наклона траектории иона на нижней границе области 2, при котором возможно попадание на коллектор:

q (V0, U3) =

где k = 2, =– 2(U1(s1)–U1(0)) – 2(U2(s2)–U2(0)).

Таким образом, получаем функцию распределения по V0 и U3 на коллекторе:

F (V0, U3) =.

Умножив данную функцию на распределение по скоростям в исходном потоке F 0(V0) и пронормировав полученное выражение по V0, будем иметь функцию распределения  J (U3), регистрируемую коллектором зонда.

В настоящее время написана программа вычисления функции F (V0, U3) в заданном диапазоне параметров с заданной точностью (пример расчета приведен в таблице 1, а его графическое представление – на рисунке 2). В дальнейшем планируется разработка программы для вычисления функции распределения по скоростям в исходном потоке F 0(V0) по функциям  J (U3) и F (V0, U3) с использованием метода регуляризации Тихонова.

Таблица 1.

Результат расчета функции F (V0, U3) для следующих параметров:

20000 V0 24000, количество точек – 11, 50 U3 150, количество точек – 11, число отрезков разбиения при численном интегрировании – 7.


[ О Школе|Лекции|Секция 1|Секция 2|Секция 3|Секция 4|Секция 5|Cодержание |