Школа по плазмохимии для молодых ученых России и стран СНГ
[ О Школе|Лекции|Секция 1|Секция 2|Секция 3|Секция 4|Секция 5|Cодержание |
МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДВИЖЕНИЯ ПОЛОЖИТЕЛЬНЫХ ИОНОВ В ДВОЙНОМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ СЛОЕ ЗОНДА
Е.В. Соколов
Ивановский государственный университет
В данной работе выведено аналитическое выражение для функции распределения ионов, попадающих на коллектор двухэлектродного зонда, учитывающее изменение углового распределение ионов в исходном потоке в области задерживающего потенциала и наличие столкновений в слое объемного заряда.
Рис. 1
Расчетная формула выводилась при следующих основных допущениях:
Для потока ионов, имеющих скорость V0 при проникновении в систему, и для каждого значения задерживающего потенциала U3=U3(h)-U3(0) требуется определить функцию F (V0, U3) – долю ионов, попавших на коллектор.
В силу упругости столкновений и предположения о том, что движение ионов происходит без испускания энергии, скорость иона в любой точке зависит лишь от начальной скорости V0 и расстояния до верхней границы области 1. Будем считать, что e.(U1(s1)–U1(0)) и e.(U1(s1)–U1(0)) + e.(U2(s2)–U2(0)) + e.Uзад (это условие является необходимым для попадания на коллектор).
Пусть плоскости s 1 и s 2 лежат в области i (i=1, 2) и пусть расстояния от этих плоскостей до верхней границы области i равны r1 и r2, соответственно, причем r2 > r1. Предположим, что столкновения происходят только в плоскости s 1. Определим вероятность того, что ион, испытавший столкновение в плоскости s 1, достигнет плоскости s 2.
Для области 1.
В силу монотонности функции U1(r) и отсутствия столкновений выше плоскости s 2, после столкновения для иона имеется две возможности: либо пересечь верхнюю границу и навсегда покинуть систему, либо достичь плоскости s 2. Очевидно к первой группе относятся все ионы, для которых < | j | p (j – угол после столкновения). Среди остальных достичь плоскости s 2 могут лишь те, вертикальная составляющая кинетической энергии которых удовлетворяет условию:
cos2j = (– e(U1(r1)–U1(0))) cos2j e (U1(r2)–U1(r1)),
откуда | j | arccos=j 1(V0, r1, r2) (вследствие ограничения на V0 подкоренное выражение всегда неотрицательно и меньше единицы).
Для области 2.
Если ион пересечет верхнюю границу области 2, он будет дополнительно ускорен полем в области 1 и потому также покинет систему; поэтому для области 2 существуют те же две возможности. В данном случае плоскости s 2 достигнут все ионы с | j | , а также те, для которых:
cos2j = (– e(U1(s1)–U1(0))–e(U2(r1)–U2(0))) cos2j e (U2(0)–U2(r1)) и
< | j | p ,
откуда | j | p –arccos=j 2(V0, r1, r2) (выражение определено по тем же причинам, что и в первом случае).
Таким образом, искомая вероятность определяется следующим образом:
, i=1, 2.
Пусть Gi(V0, k, l 1, ... , l k), k=1,2,..., l j>0, l 1+... +l k si – вероятность того, что ион, испытав в точности k-1 столкновений, достиг плоскости r , находящейся на расстоянии r = l 1+... +l k от верхней границы области i (i=1, 2), причем длины свободного пробега равны, соответственно, l 1, ... , l k. Из предыдущей формулы следует, что:
Gi(V0, k, l 1, ... , l k) =... .
Пусть плоскость r лежит в области i (i=1, 2) на расстоянии r от верхней границы, и пусть столкновения происходят лишь в плоскости r . Определим функцию Hi(r, y ), 0 y < , – распределение по углам на нижней границы области r .
Для области 1.
Очевидно, должно выполняться следующее условие:
(– e (U1(r)–U1(0))) cos2j –e (U1(s1)–U1(r)) = (– e (U1(s1)–U1(0))) cos2y ,
где j – угол после столкновения,
откуда j = arccos= y 1(V0, r, y ) (при сделанных предположениях выражение определено).
Очевидно H1(V0, r, y ) =F 1(r, y 1(V0, r, y )).
Для области 2.
Аналогично:
(– e (U1(s1)–U1(0)) – e (U2(r)–U2(0))) cos2j – e (U2(s2)–U2(r)) =
= (– e (U1(s1)–U1(0)) – e (U2(s2)–U2(0))) cos2y .
Так как при r < s2 правая часть уравнения положительна, решения существуют лишь при условии, что
| y | arccos=(V0):
j' = arccos=(V0, r, y ),
j''= p –arccos=(V0, r, y ).
Тогда: H2(V0, r, y ) =.
Легко видеть, что функция распределения по углам на нижней границе области i (i=1, 2) ионов, испытавших в точности k столкновений, k=0, 1, 2,... , имеет следующий вид:
Fi(V0, k, y ) =... L i(l 1)... L i(l k+1)Fi(V0, k, l 1, ... , l k)Hi(V0, l 1+... +l k, y )dl 1...dl k+1.
Таким образом, функция Y 1(V0, y ) =, 0 y < , представляет собой функцию распределения по углам на нижней границе области 1. Полагая F 2(0, j ) = Y 1(V0, y ), получим функцию Y 2(V0, y ) = – функцию распределения по углам на нижней границе области 2.
Несложные вычисления позволяют определить функцию q (V0, U3) – максимальный угол наклона траектории иона на нижней границе области 2, при котором возможно попадание на коллектор:
q (V0, U3) =
где k = 2, =– 2(U1(s1)–U1(0)) – 2(U2(s2)–U2(0)).
Таким образом, получаем функцию распределения по V0 и U3 на коллекторе:
F (V0, U3) =.
Умножив данную функцию на распределение по скоростям в исходном потоке F 0(V0) и пронормировав полученное выражение по V0, будем иметь функцию распределения J (U3), регистрируемую коллектором зонда.
В настоящее время написана программа вычисления функции F (V0, U3) в заданном диапазоне параметров с заданной точностью (пример расчета приведен в таблице 1, а его графическое представление – на рисунке 2). В дальнейшем планируется разработка программы для вычисления функции распределения по скоростям в исходном потоке F 0(V0) по функциям J (U3) и F (V0, U3) с использованием метода регуляризации Тихонова.
Таблица 1.
Результат расчета функции F (V0, U3) для следующих параметров:
20000 V0 24000, количество точек – 11, 50 U3 150, количество точек – 11, число отрезков разбиения при численном интегрировании – 7.
[ О Школе|Лекции|Секция 1|Секция 2|Секция 3|Секция 4|Секция 5|Cодержание |